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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:膜厚監(jiān)控儀

  • 產(chǎn)品型號:CY-FTM107-A
  • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
適用于電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量,通過觸摸屏和數(shù)碼管顯示,使您能獲取完整的沉積數(shù)據(jù)。 采用了更先進的軟件和硬件設備,進一步提高了儀器抗干擾能力。
詳情介紹:

一、技術特點:

1.全觸摸屏操作顯示,簡單易用;

2.二組繼電器輸出,到達設置厚度自動關閉擋板/蒸發(fā)源;

3.實時顯示速率、厚度、鍍膜曲線和鍍膜時間;

4.提供RS232/RS485接口。

二.應用范圍:

適用于電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量,通過觸摸屏和數(shù)碼管顯示,使您能獲取完整的沉積數(shù)據(jù)。

采用了更先進的軟件和硬件設備,進一步提高了儀器抗干擾能力。   

三、主要參數(shù):

CY-FTM107-A監(jiān)控儀

晶振頻率

 6MHz(可選2.5M 3M 5M 9M晶體)

顯示方式

5”彩色觸屏+數(shù)碼管顯示速率和實厚

操作方式

 觸摸屏

厚度顯示范圍

0-99μ9999?

厚度實際分辨率

0.1?(鋁)

厚度顯示分辨率

1?

速率范圍

0-999.9?

速率顯示分辨率

0.1?/s

鍍膜層數(shù)

99

探頭輸入

4路(任選一路工作)

工具因子

0.01-99.99

材料存儲

257+自定義10

通 訊

RS232/RS485

擋板/源控制

2組觸點,到達厚度關擋板/蒸發(fā)源

鍍膜顯示

速率曲線/數(shù)值

鍍膜巡回次數(shù)

0-99

機箱尺寸

480×250×89mm(2U 19”機箱)

四.特殊功能:

1)具有人工停止鍍膜功能  

2)可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比

3)顯示鍍膜結束后的監(jiān)測實厚、材料和層次

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號