防腐蝕勻膠機主要特點：

1.表殼和旋轉(zhuǎn)盤由聚丙烯（PP）制成，可抵抗大部分腐蝕性溶液。

2.數(shù)字控制箱與旋涂機分開。

3.標配一個過濾器。它用于連接泵和涂布機，以防止廢水流入泵。

4.標配無油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺，防止飛片。

5.帶真空和蓋子開關(guān)互鎖功能，確保操作穩(wěn)定。

6.內(nèi)腔直徑150mm，PP防腐真空吸盤Φ100mm，可處理碎片（小于1cm）至6英寸圓晶底物。

7.數(shù)字控制面板，帶有6個可編程段，可實現(xiàn)不同的旋轉(zhuǎn)時間和速度。

8.電機啟動快速穩(wěn)定，可以保證圖層厚度的一致性和均勻性。

	項目	明細
旋涂儀	供電電壓	AC220V，50Hz
	轉(zhuǎn)速	0~10000rpm
	加速度	100~5000rpm/s
	轉(zhuǎn)速分辨率	1rpm
	單步時間	3000s
	基片尺寸	直徑≤8英寸（200mm）
	腔體材質(zhì)	聚四氟
	操作方式	7寸高清LCD觸控屏
	滴膠方式	手動滴膠，可選購精密注射泵
	勻膠曲線	每條曲線5段，共可儲存5條曲線
	抽氣接口	φ8mm 快擰接口
	整機尺寸	290mm×365mm×310mm
	整機重量	12kg
排氣系統(tǒng)	真空泵	干式機械泵
	抽氣速率	50L/min
	供電電源	AC220V  50/60Hz

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