雙溫區CVD系統適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫燒結、金屬退火、質量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環境的CVD實驗。

雙溫區CVD系統產品規格：

主要技術參數
雙 溫 區 管 式 爐	顯示模式	7英寸觸摸屏
	真空控制	可通過參數設置，自動完成抽真空，恒壓工作
	爐管材料	高純石英
	爐管尺寸	直徑：50mm，長度1000mm
	加熱溫區	兩溫區
	溫區長度	200mm+200mm
	工作溫度	室溫～1100℃
	控溫精度	±1℃
	升溫速率	建議10℃/min
	控溫模式	可編程程序控溫
	密封方式	真空法蘭密封
雙通道質量流量計	氣體通道	兩通道
	測量儀器	質量流量計
	A路量程	氫氣：0～500SCCM
	B路量程	氬氣：0～1000SCCM
	連接管道	拋光不銹鋼管
	氣體緩沖器	1000ml
	工作壓力	≦3Mpa
	工作壓差	0.3MPa
	管道接口	6.35mm卡套接頭
真空泵	抽氣接口	KF25
	排氣接口	KF25
	抽氣速率	24立方米/小時
	極限真空	5.0E-2Pa
	電機功率	1100W
	電機轉速	1440轉/分鐘
真空計	傳感器類型	皮拉力
	真空量程	1.0E-1Pa～1.0E5Pa
	安裝方式	豎直放置
	工作電壓	DC24V
相關配件	連接管道	KF25波紋管1米長
	聚四氟管5米
	石英爐管1根
	爐管塞子4個
	爐鉤1支
	防護手套1雙
	真空法蘭1套（帶密封圈、針閥、氣路接頭）